全国开设微机电系统工程专业的大学有：北京航空航天大学、西北工业大学、东莞理工学院、东莞理工学院。
| 序号 | 学校名称 |
| 1 | 北京航空航天大学 |
| 2 | 西北工业大学 |
| 3 | 东莞理工学院 |
| 4 | 东莞理工学院 |
微机电系统工程以机、电技术，尤其是微机械为基础，运用微电子技术和微加工技术，进行微纳米和微机电系统内的一系列微型器件的设计、制造及测试等。例如：微泵、微传感器、微加速度计、小飞机、小卫星和微米卫星等。
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